Сибирский федеральный университет

Перевод названия: THE SIZING OF MELT VARIATION AND SENSITIVITY AT CONTACT METHOD OF MONOCRYSTAL GROWTH BY CZOCHRALSKY METHOD

Тип публикации: статья из журнала

Год издания: 2006

Аннотация: Предложен контактный метод управления диаметром вытягиваемого монокристаллического слитка из расплава, по способу Чохральского. Величина колебания уровня расплава германия в данном методе составляет 1...2 мкм, что является достаточным для работы системы управления при измерении диаметра кристалла и одновременно для обеспечения стабильных температурных условий роста на фронте кристаллизации кристалла. In the contact monitoring method of diameter of monocrystalline ingot pulled from melt by Czochralski method offered by the author, size of germanium melt level variation makes 1-2 мm which is enough for monitoring system functioning when measuring crystal diameter and for provision of stable temperature conditions for growth on solidifying interface of crystal.

Журнал: Вестник Сибирского государственного аэрокосмического университета им. академика М.Ф. Решетнева

Выпуск журнала: № 1

Номера страниц: 103-105

ISSN журнала: 18169724

Место издания: Красноярск

Издатель: Сибирский государственный аэрокосмический университет имени академика М.Ф. Решетнева

• Саханский С.П. (Сибирский государственный аэрокосмический университет имени академика М. Ф. Решетнева)

• РИНЦ (eLIBRARY.RU)