Сибирский федеральный университет 
Тип публикации: доклад, тезисы доклада, статья из сборника материалов конференций
Конференция: ИННОВАЦИОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ В МАТЕРИАЛОВЕДЕНИИ И МАШИНОСТРОЕНИИ (ИТММ-2023); Пермь; Пермь
Год издания: 2023
Ключевые слова: покрытия, нитриды, вакуумный дуговой разряд
Аннотация: В работе получены многослойные покрытия ZrN/TiN с вариативной толщиной бислоя (Δ=30, 300, 600 нм). Методом рентгеновской дифракции исследовано влияние толщины бислоя и отношения толщин отдельных подслоев на микроструктуру покрытий. Установлены зависимости остаточных напряжений в покрытии от отношения толщин слоев ZrN:TiN и толщины бислоя.
Издание
Журнал: Инновационные технологии в материаловедении и машиностроении (ИТММ-2023)
Номера страниц: 305-308
Место издания: Пермь
Персоны
- Федоров Л.Ю. (Федеральный исследовательский центр Красноярский научный центр Сибирского отделения РАН)
- Ушаков А.В. (Федеральный исследовательский центр Красноярский научный центр Сибирского отделения РАН)
- Карпов И.В. (Сибирский федеральный университет)
Вхождение в базы данных
Информация о публикациях загружается с сайта службы поддержки публикационной активности СФУ. Сообщите, если заметили неточности.