Перевод названия: Perculiarities of Determination of Solidifying Interface Form at Germanium Monocrystal Growing
Тип публикации: статья из журнала
Год издания: 2008
Ключевые слова: форма фронта кристаллизации, прогиб фронта кристаллизации, замедление скорости вращения кристалла, crystal-melt front shape, crystal front inflection, crystal rotation rate inhibition
Аннотация: Рассмотрен метод управления скоростью вращения кристалла при контактном методе выращивания монокристаллов, который позволяет проявить стандартным способом травления форму фронта кристаллизации. Данный метод применяется для коррекции прогиба фронта кристаллизации, при серийном выращивании монокристаллов германия кристаллографического направления "100". Mode of monitoring of crystal rotation speed in the contact method of monocrystal growing by Czochralski method was examined which allows to display solidifying interface form by standard etching mode. This mode is used to correct solidifying interface sagging at batch growing of germanium monocrystals in 100 orientation due to change crystal rotation speed rate input in computer control program at a given area
Издание
Журнал: Мехатроника, автоматизация, управление
Выпуск журнала: № 9
Номера страниц: 45-47
ISSN журнала: 16846427
Место издания: Москва
Издатель: Общество с ограниченной ответственностью Издательство Новые технологии
Персоны
- Саханский С.П. (Сибирский государственный аэрокосмический университет им. акад. М. Ф. Решетнева)
Вхождение в базы данных
- Ядро РИНЦ (eLIBRARY.RU)
- Список ВАК
Информация о публикациях загружается с сайта службы поддержки публикационной активности СФУ. Сообщите, если заметили неточности.