СОБАИССЛЕДОВАНИЕ ПРОЦЕССА НАПЫЛЕНИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК СИЛИЦИДА ЖЕЛЕЗА НА ПОВЕРХНОСТЬ КРЕМНИЯ | Научно-инновационный портал СФУ

СОБАИССЛЕДОВАНИЕ ПРОЦЕССА НАПЫЛЕНИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК СИЛИЦИДА ЖЕЛЕЗА НА ПОВЕРХНОСТЬ КРЕМНИЯ

Тип публикации: доклад, тезисы доклада, статья из сборника материалов конференций

Конференция: ЧЕТВЕРТЫЙ МЕЖДИСЦИПЛИНАРНЫЙ НАУЧНЫЙ ФОРУМ С МЕЖДУНАРОДНЫМ УЧАСТИЕМ "НОВЫЕ МАТЕРИАЛЫ И ПЕРСПЕКТИВНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ"; Москва; Москва

Год издания: 2018

Ссылки на полный текст

Издание

Журнал: ЧЕТВЕРТЫЙ МЕЖДИСЦИПЛИНАРНЫЙ НАУЧНЫЙ ФОРУМ С МЕЖДУНАРОДНЫМ УЧАСТИЕМ "НОВЫЕ МАТЕРИАЛЫ И ПЕРСПЕКТИВНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ"

Номера страниц: 529-530

Место издания: Москва

Издатель: Буки Веди

Персоны

  • Чепкасов И.В. (Хакасский государственный университет им. Н. Ф. Катанова)
  • Байдышев В.С. (Хакасский государственный университет им. Н. Ф. Катанова)
  • Высотин М.А. (Сибирский Федеральный Университет)
  • Попов З.И. (Национальный исследовательский технологический университет «МИСиС»)

Вхождение в базы данных

Информация о публикациях загружается с сайта службы поддержки публикационной активности СФУ. Сообщите, если заметили неточности.

Вы можете отметить интересные фрагменты текста, которые будут доступны по уникальной ссылке в адресной строке браузера.