МОДЕЛИРОВАНИЕ СЕЧЕНИЯ НЕУПРУГОГО РАССЕЯНИЯ ЭЛЕКТРОНОВ В СЛОИСТЫХ СТРУКТУРАХ НА ОСНОВЕ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ФУНКЦИЙ И ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫХ СПЕКТРОВ ПЛЁНКИ И ПОДЛОЖКИ

Перевод названия: SIMULATING THE CROSS SECTION OF INELASTIC SCATTERING OF ELECTRONS IN LAYERED STRUCTURES ON THE BASIS OF DIELECTRIC FUNCTIONS AND EXPERIMENTAL SPECTRA OF THE FILM AND SUBSTRATE

Тип публикации: статья из журнала

Год издания: 2015

Ключевые слова: electron spectroscopy, cross section of inelastic scattering of reflected electrons, mean free path of an electron, электронная спектроскопия, сечение неупругого рассеяния отражённых электронов, длина свободного пробега электрона

Аннотация: Представлена методика моделирования сечения неупругого рассеяния электронов в слоистых структурах из экспериментальных спектров сечения неупругого рассеяния отражённых электронов компонентов структур на основе теоретической модели Юберо - Тоугаарда сечения неупругого рассеяния в однородной среде и её обобщения на случай слоистых структур. Методика апробирована на примере исследования спектров сечения неупругого рассеяния в двухслойной структуре SiO 2/Si.

Ссылки на полный текст

Издание

Журнал: Автометрия

Выпуск журнала: Т.51, 4

Номера страниц: 114-120

ISSN журнала: 03207102

Место издания: Новосибирск

Издатель: Федеральное государственное унитарное предприятие Издательство Сибирского отделения Российской академии наук

Авторы

  • Паршин Анатолий Сергеевич (Сибирский государственный аэрокосмический университет им. академика М. Ф. Решетнёва)
  • Кущенков Станислав Александрович (Сибирский государственный аэрокосмический университет им. академика М. Ф. Решетнёва)
  • Пчеляков Олег Петрович (Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова СО РАН)
  • Михлин Юрий Леонидович (Институт химии и химической технологии СО РАН)

Вхождение в базы данных

Информация о публикациях загружается с сайта службы поддержки публикационной активности СФУ. Сообщите, если заметили неточности.

Вы можете отметить интересные фрагменты текста, которые будут доступны по уникальной ссылке в адресной строке браузера.