Послойный анализ методом спектроскопии сечения неупругого рассеяния электронов распределения диоксида кремния по толщине в структуре SiO2/Si(111)

Тип публикации: статья из журнала

Год издания: 2016

Аннотация: Из экспериментальных спектров сечения неупругого рассеяния отраженных электронов в диапазоне энергий первичных электронов от 300 до 3000 эВ определен профиль концентрации SiO2 в структуре SiO2/Si(111). Анализ спектров проведен с использованием предложенного алгоритма и разработанной программы компьютерного моделирования спектров сечения неупругого рассеяния отраженных электронов для слоистых структур с произвольным количеством слоев, произвольной толщины и переменной концентрацией компонентов в каждом слое. Варьированием концентраций диоксида кремния и кремния в каждом слое достигалось наилучшее согласие между расчетными и экспериментальными спектрами. Результаты могут быть использованы для профилирования структур пленка-подложка с произвольным составом компонентов.

Ссылки на полный текст

Издание

Журнал: Физика и техника полупроводников

Выпуск журнала: Т.50, 3

Номера страниц: 344-349

ISSN журнала: 00153222

Место издания: Санкт-Петербург

Издатель: Федеральное государственное унитарное предприятие Академический научно-издательский, производственно-полиграфический и книгораспространительский центр Наука

Авторы

  • Паршин А.С. (Сибирский государственный аэрокосмический университет им. ак. М.Ф. Решетнева, 660014 Красноярск, Россия)
  • Кущенков C.А. (Сибирский государственный аэрокосмический университет им. ак. М.Ф. Решетнева, 660014 Красноярск, Россия)
  • Пчеляков О.П. (Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук, 630090 Новосибирск, Россия)
  • Михлин Ю.Л. (Институт химии и химической технологии Сибирского отделения Российской академии наук, 660036 Красноярск, Россия)

Вхождение в базы данных

Информация о публикациях загружается с сайта службы поддержки публикационной активности СФУ. Сообщите, если заметили неточности.

Вы можете отметить интересные фрагменты текста, которые будут доступны по уникальной ссылке в адресной строке браузера.