Сибирский федеральный университет

Перевод названия: ТЕХНОЛОГИЯ МОЛЕКУЛЯРНО-ЛУЧЕВОЙ ЭПИТАКСИИ ДЛЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ УСТРОЙСТВ НАНОЭЛЕКТРОНИКИ

Тип публикации: статья из журнала

Год издания: 2016

Ключевые слова: technology of molecular-ray epistaxis, a one-dimensional periodically structure, молекулярно-лучевая эпитаксия, наноэлектроника, сверхтонкие слои, монокристаллы высокой частоты

Аннотация: Molecular beam epitasis helps to solve very important tasks, such as how to get single crystals of ultrahigh frequency, or a smooth faultless surface. Moreover, using molecular beam epitasis helps to obtain thin layers with a controlled quantity. С помощью молекулярно-лучевой эпитаксии решаются важнейшие задачи, такие как получение монокристаллов высокой чистоты, получение гладких бездефектных поверхностей, а также получение сверхтонких слоев с контролируемой толщиной.

Журнал: Молодежь. Общество. Современная наука, техника и инновации

Выпуск журнала: № 15

Номера страниц: 226-227

Место издания: Красноярск

Издатель: Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Сибирский государственный университет науки и технологий имени академика М.Ф. Решетнева"

• Yurchenko K.A. (Reshetnev Siberian State Aerospace University)
• Ovchinnikov S.G. (Reshetnev Siberian State Aerospace University)
• Voytalyanova Ya.I. (Reshetnev Siberian State Aerospace University)

• РИНЦ (eLIBRARY.RU)