Разработка технологических режимов изготовления керамического теплового узла на основе оксида кремния для выращивания монокристаллов германия | Научно-инновационный портал СФУ

Разработка технологических режимов изготовления керамического теплового узла на основе оксида кремния для выращивания монокристаллов германия

Тип публикации: доклад, тезисы доклада, статья из сборника материалов конференций

Конференция: МЕЖДУНАРОДНАЯ КОНФЕРЕНЦИЯ СТУДЕНТОВ, АСПИРАНТОВ И МОЛОДЫХ УЧЁНЫХ «ПРОСПЕКТ СВОБОДНЫЙ-2016»; Красноярск; Красноярск

Год издания: 2016

Ключевые слова: керамические тепловые узлы, оксид кремния, монокристаллы, германий

Ссылки на полный текст

Издание

Журнал: ПРОСПЕКТ СВОБОДНЫЙ-2016

Номера страниц: 20-22

Издатель: Сибирский федеральный университет

Персоны

  • Кузьмин Н.С.
  • Алексуточкин М.А.
  • Подшибякина Е.Ю. (Сибирский федеральный университет)

Вхождение в базы данных

Информация о публикациях загружается с сайта службы поддержки публикационной активности СФУ. Сообщите, если заметили неточности.

Вы можете отметить интересные фрагменты текста, которые будут доступны по уникальной ссылке в адресной строке браузера.