Автоматизация магнитоэллипсометрических IN SITU измерений на сверхвысоковакуумном комплексе для синтеза и исследования материалов спинтроники : научное издание | Научно-инновационный портал СФУ

Автоматизация магнитоэллипсометрических IN SITU измерений на сверхвысоковакуумном комплексе для синтеза и исследования материалов спинтроники : научное издание

Перевод названия: AUTOMATION OF MAGNITOELLIPSOMETRIC IN SITU MEASUREMENTS ON THE ULTRAHIGH-VACUUM COMPLEX FOR SYNTHESIS AND RESEARCH OF MATERIALS OF SPINTRONICS

Тип публикации: статья из журнала

Год издания: 2012

Ключевые слова: Ultrahigh-vacuum technology of multilayered nano-structures, spectral ellipsometry, Kerr effect, сверхвысоковакуумная технология многослойных нанострутур, спектральная эллипсометрия, эффект Керра

Аннотация: Представлены результаты модернизации созданного коллективом авторов магнитоэллипсометрического комплекса. Проведена автоматизация процессов управления аппаратной частью и реализованы алгоритмы обработки сигналов магнитоэллипсометра. Возможности созданной системы были продемонстрированы на примере технологического цикла создания и in situ исследования структурных, оптических и магнитных свойств наноструктуры Fe/SiO 2/Si(100). The article is a presentation of results of modernization of magnetic-ellipsometric complex created by group of authors. Automation ofprocesses of hardware component control is carried out and algorithms of processing of signals of magnetic ellipsometer are realized. Possibilities of the created system were shown on the example of technological cycle of production and in situ of research of structural, optical and magnetic properties of nanostructure of Fe/SiO 2/Si(100).

Ссылки на полный текст

Издание

Журнал: Вестник Сибирского государственного аэрокосмического университета им. академика М.Ф. Решетнева

Выпуск журнала: 4

Номера страниц: 162-168

ISSN журнала: 18169724

Место издания: Красноярск

Издатель: Сибирский государственный аэрокосмический университет имени академика М.Ф. Решетнева

Авторы

  • Лященко С.А. (Сибирский государственный аэрокосмический университет имени академика М. Ф. Решетнева)
  • Варнаков С.Н. (Сибирский государственный аэрокосмический университет имени академика М. Ф. Решетнева)
  • Тарасов И.А. (Институт физики имени Л. В. Киренского Сибирского отделения Российской академии наук)
  • Шевцов Д.В. (Институт физики имени Л. В. Киренского Сибирского отделения Российской академии наук)
  • Овчинников С.Г. (Сибирский государственный аэрокосмический университет имени академика М. Ф. Решетнева)

Вхождение в базы данных

Информация о публикациях загружается с сайта службы поддержки публикационной активности СФУ. Сообщите, если заметили неточности.

Вы можете отметить интересные фрагменты текста, которые будут доступны по уникальной ссылке в адресной строке браузера.