Сибирский федеральный университет

Перевод названия: SYNTHESIS AND OPTICAL PROPERTIES OF TiO2 AND SiO2 THIN FILMS OBTAINED BY REACTIVE MAGNETRON SPUTTERING

Тип публикации: доклад, тезисы доклада, статья из сборника материалов конференций

Конференция: Решетневские чтения; Красноярск; Красноярск

Год издания: 2021

Ключевые слова: thin films, reactive magnetron sputtering, TiO2 and SiO2, optical transparency, optical properties, тонкие пленки, реактивное магнетронное напыление, TiO2 и SiO2, оптическая прозрачность, оптические свойства

Аннотация: Синтезированы тонкие пленки TiO2 и SiO2 с помощью реактивного магнетронного напыления. Синтез тонких пленок проводился путем распыления металлической мишени титана и кремния соответственно. Кислород использовался как реактивный газ при распылении. Получены оптимальные технологические условия для получения высококачественных тонких пленок TiO2 и SiO2 с высокой оптической прозрачностью. Thin films of TiO2 and SiO2 have been synthesized using reactive magnetron sputtering. The synthesis of thin films was carried out by sputtering metal titanium and silicon targets, respectively. Oxygen was used as a reactive gas. Optimum technological conditions have been discovered for obtaining high-quality thin films of TiO2 and SiO2 with high optical transparency.

Журнал: Решетневские чтения

Выпуск журнала: Часть 1

Номера страниц: 591-592

Место издания: Красноярск

Издатель: Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Сибирский государственный университет науки и технологий имени академика М.Ф. Решетнева"

• Тамбасов И. А. (ООО «Научно-производственная компания «Спецтехнаука»)
• Неделин С. В. (Сибирский федеральный университет)
• Золотовский Н. А. (Сибирский федеральный университет)
• Тамбасова Е. В. (Акционерное общество «Информационные спутниковые системы» имени академика М. Ф. Решетнёва»)
• Тимофеев И. В. (Сибирский федеральный университет)

• РИНЦ (eLIBRARY.RU)