Сибирский федеральный университет

Перевод названия: METHOD FOR MEASURING SUBSTRATE DIELECTRIC CONSTANT

Тип публикации: патент

Год издания: 1993

Аннотация:

<ru-page-number num="0001" /> <ru-paragraph-column num="02" /> <ru-paragraph-line num="0036" x="1351" y="1098" />Использование: изобретение относится к технике измерения электрических характеристик<ru-paragraph-line num="0038" x="1351" y="1195" />материалов и может быть использовано<ru-paragraph-line num="0039" x="1352" y="1251" />при произЕодстве интегральных схем СВЧ. Сущность изобретения: способ включает формирование четырехполюсника путем нанесения металлических проводников<ru-paragraph-line num="0043" x="1352" y="1434" />по обе стороны подложки так, что на одной стороне металлический проводник покрывает всю ее поверхность и является экраном, а на вторую сторону подложки наносят<ru-paragraph-line num="0047" x="1352" y="1637" />два металлических проводника, один из которых является входным, другой - выходным<ru-paragraph-line num="0049" x="1350" y="1734" />, измеряют частоту полюса затухания<ru-paragraph-line num="0050" x="1351" y="1778" />четырехполюсника, по которой определяют величину диэлектрической проницаемости<ru-paragraph-line num="0052" x="1351" y="1879" />подложки. л С<img src="/get_item_image.asp?id=40620296&img=00000001.TIF" class="img_big">

• БЕЛЯЕВ БОРИС АФАНАСЬЕВИЧ
• ТЮРНЕВ ВЛАДИМИР ВЕНИАМИНОВИЧ

• РИНЦ (eLIBRARY.RU)