Сибирский федеральный университет

Перевод названия: METHOD FOR HEAT TREATMENT OF HIGHLY ALLOYED MONOCRYSTALS OF SILICIUM

Тип публикации: патент

Год издания: 1997

Аннотация: p num="19"Использование: способ относится к металлургии, а именно к технологии полупроводниковых материалов, преимущественно для получения однородных сильнолегированных монокристаллов кремния с воспроизводимыми электрофизическими характеристиками. Сущность изобретения: способ включает многократный нагрев до (1470±50)K и охлаждение до (770±50)K, которые проводят 4-5 раз. При этом обеспечивается снижение разницы значений концентраций вдвое по сравнению с прототипом и сокращение процесса термообработки. 1 табл./p p num="20"FIELD: metallurgy, namely, technology of semiconductor materials, preferably for production of highly alloyed monocrystals of silicium having reproducible electrophysical characteristics. SUBSTANCE: method involves multiple heating to (1470 ± 50) K and cooling to (770 ± 50) K which are carried out 4-5 times. EFFECT: decreased duration of heat treatment. 1 tbl/p

• Шиманский А.Ф.
• Краснова Е.В.
• Каргин В.Ф.
• Тупаев В.М.
• Леонов В.В.

• РИНЦ (eLIBRARY.RU)