ИССЛЕДОВАНИЕ ПРОБЛЕМЫ СОЗДАНИЯ СИСТЕМЫ НАГРЕВА КРЕМНИЕВЫХ ПОДЛОЖЕК В УСЛОВИЯХ ВЫСОКОГО ВАКУУМА : научное издание

Тип публикации: статья из журнала

Год издания: 2013

Аннотация: Рассматривается исследование проблемы создания электрического нагревателя кремниевых подложек в вакуумной камере и результаты работы над ним.

Ссылки на полный текст

Издание

Журнал: Актуальные проблемы авиации и космонавтики

Выпуск журнала: Т. 1, № 9

Номера страниц: 183-184

Место издания: Красноярск

Издатель: Сибирский государственный аэрокосмический университет имени академика М.Ф. Решетнева

Персоны

Мысягин В.В. (Сибирский государственный аэрокосмический университет имени академика М. Ф. Решетнева, Красноярск)
Овчинников С.Г. (Сибирский государственный аэрокосмический университет имени академика М. Ф. Решетнева, Красноярск)

Вхождение в базы данных

РИНЦ (eLIBRARY.RU)

Информация о публикациях загружается с сайта службы поддержки публикационной активности СФУ. Сообщите, если заметили неточности.