Сибирский федеральный университет

Перевод названия: BAND STRUCTURE INVESTIGATION OF THIN In2O3 FILMS BY X-RAY PHOTOELECTRON SPECTROSCOPY AND AB INITIO CALCULATIONS IN VASP

Тип публикации: статья из журнала

Год издания: 2016

Ключевые слова: оксид индия, тонкие пленки, реактивное магнетронное напыление, Indium oxide, thin films, reactive magnetron sputtering

Аннотация: Представлено исследование зонной структуры пленок оксида индия с помощью рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии и первопринципных расчетов в рамках пакета VASP. Исследования проведены для диэлектрических и проводящих пленок оксида индия, полученных с помощью реактивного магнетронного напыления. This paper presents a study of the band structure of thin indium oxide films using X-ray photoelectron spectroscopy and ab initio calculations within the VASP package. Studies carried out for the dielectric and conductive films of indium oxide obtained by reactive magnetron sputtering.

Журнал: Актуальные проблемы авиации и космонавтики

Выпуск журнала: Т. 1, № 12

Номера страниц: 335-336

Место издания: Красноярск

Издатель: Сибирский государственный аэрокосмический университет имени академика М.Ф. Решетнева

• Тамбасов И.А. (Институт физики им. Л. В. Киренского СО РАН)
• Жандун В.С. (Институт физики им. Л. В. Киренского СО РАН)
• Михлин Ю.Л. (Институт химии и химической технологии СО РАН)
• Мягков В.Г. (Институт физики им. Л. В. Киренского СО РАН)
• Тамбасова Е.В. (Сибирский государственный аэрокосмический университет имени академика М. Ф. Решетнева)

• РИНЦ (eLIBRARY.RU)