Large thickness-dependent improvement of crystallographic texture of CVD silicon films on R-sapphire : научное издание | Научно-инновационный портал СФУ

Large thickness-dependent improvement of crystallographic texture of CVD silicon films on R-sapphire : научное издание

Тип публикации: статья из журнала

Год издания: 2013

Идентификатор DOI: 10.1016/j.jcrysgro.2013.08.038

Ссылки на полный текст

Издание

Журнал: Journal of Crystal Growth

Выпуск журнала: Т. 383

Номера страниц: 145-150

ISSN журнала: 00220248

Издатель: Elsevier Science Publishing Company, Inc.

Авторы

  • Moyzykh M. (SuperOx)
  • Kaul A. (SuperOx)
  • Samoilenkov S. (SuperOx)
  • Vasiliev A. (Kurchatov Institute of Atomic Energy)
  • Amelichev V. (SuperOx)

Вхождение в базы данных

Информация о публикациях загружается с сайта службы поддержки публикационной активности СФУ. Сообщите, если заметили неточности.

Вы можете отметить интересные фрагменты текста, которые будут доступны по уникальной ссылке в адресной строке браузера.