Перевод названия: WIRE TOOL - ELECTRODE TO OBTAIN CRYSTALS
Тип публикации: статья из журнала
Год издания: 2015
Ключевые слова: проволочный электрод-инструмент, колебания проволоки, скрайбирование полупроводниковых пластин, the wire electrode-tool, the vibrations of the wire, scribing semiconductor wafers
Аннотация: В системах управления ракет и космических аппаратов применяют интегральные микросхемы и приборы, в основе которых используются кристаллы, полученные разделением полупроводниковых пластин. Предложен способ разделения на кристаллы проволочным электрод-инструментом. Правильность выбранной модели подтверждается экспериментальными данными. The control systems of missiles and space vehicles use integrated circuits and devices with crystals obtained by separating the semiconductor wafers. The research presents a method of separation of crystals wire electrode-tool. The correctness of the chosen model is confirmed by experimental data.
Издание
Журнал: Решетневские чтения
Выпуск журнала: Т. 1, № 19
Номера страниц: 43-46
ISSN журнала: 19907702
Место издания: Красноярск
Издатель: Сибирский государственный аэрокосмический университет имени академика М.Ф. Решетнева
Персоны
- Семенова Л.А. (Сибирский государственный аэрокосмический университет имени академика М. Ф. Решетнева)
- Шестаков И.Я. (Сибирский государственный аэрокосмический университет имени академика М. Ф. Решетнева)
Вхождение в базы данных
Информация о публикациях загружается с сайта службы поддержки публикационной активности СФУ. Сообщите, если заметили неточности.