Сибирский федеральный университет

Перевод названия: Development of Porous Structures on Silicon

Тип публикации: статья из журнала

Год издания: 2010

Ключевые слова: магнитные структуры, microsystem engineering, porous silicon, porous structures on silicon, пористый кремний, пористые структуры на кремнии

Аннотация: В данной работе приводится обзор экспериментальных исследований кремниевых пористых структур, полученных методом электрохимического анодирования монокристаллического кремния в растворе плавиковой кислоты. Изложены результаты оптических и магнитных исследований кремниевых пористых структур. Определены условия создания воспроизводимой структуры пористого кремния с равномерно распределенными цилиндрическими порами и стабильными временными характеристиками за счет использования специальной формы катода и электромагнитного излучения в видимой области спектра. Показана возможность создания фотонных структур, аналогичных структурам Брегговского отражателя и Фабри-Перо. In this article the review of experimental researches of the porous silicon structures received by electrochemical anodizing method of monocrystal silicon in fluoric acid solution is resulted. Optical and magnetic researches of porous structures are obtained.

Журнал: Журнал Сибирского федерального университета. Серия: Техника и технологии

Выпуск журнала: Т. 3, № 4

Номера страниц: 430-443

ISSN журнала: 1999494X

Место издания: Красноярск

Издатель: Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования Сибирский федеральный университет

• Сакун Е.А. (Сибирский федеральный университет)
• Полюшкевич А.В. (Сибирский федеральный университет)
• Харлашин П.А. (Сибирский федеральный университет)
• Семенова О.В. (Сибирский федеральный университет)
• Корец А.Я. (Сибирский федеральный университет)

• Ядро РИНЦ (eLIBRARY.RU)
• Список ВАК