Сибирский федеральный университет

Перевод названия: METHOD OF APPLYING SnO2 COATING

Тип публикации: патент

Год издания: 2020

Аннотация:

Изобретение относится к области металлургии, а именно к нанесению покрытия из диоксида олова, и может быть использовано при изготовлении защитных покрытий, а также при создании газовых сенсоров, оптоэлектрических и люминисцентных устройств. Печь с SnO устанавливают в емкость, закрытую подложкой, предварительно упомянутую емкость продувают инертным газом для удаления воздуха, затем печь с SnO нагревают до 1080-1430°С, испаряют SnO, пропускают газообразный SnO через упомянутую емкость и осаждают его на охлаждаемой подложке, после чего при той же температуре емкость продувают воздухом для окисления SnO до SnO₂, а затем подложку подвергают термообработке при той же температуре в атмосфере воздуха. Обеспечивается получение покрытия из диоксида олова толщиной от 750 нм до 200 мкм, имеющего однородную поверхность, при этом предложенный способ технологичен, прост в аппаратурном оформлении и не требует значительных затрат энергии. 1 ил., 2 пр.

FIELD: metallurgy.

SUBSTANCE: invention relates to metallurgy, namely, to application of tin dioxide coating, and can be used in production of protective coatings, as well as in creation of gas sensors, optoelectrical and luminescent devices. Furnace with SnO is installed in container closed by substrate, previously mentioned capacity is blown with inert gas for air removal, then furnace with SnO is heated to 1,080–1,430 °C, SnO is evaporated, gaseous SnO is passed through said vessel and deposited on a cooled substrate, after which at same temperature vessel is blown with air for oxidation of SnO to SnO₂, and then the substrate is subjected to thermal treatment at the same temperature in the air atmosphere.

EFFECT: obtaining a coating from tin dioxide with thickness of 750 nm to 200 mcm, having a homogeneous surface, wherein the disclosed method is simple, easy to implement and does not require significant power consumption.

1 cl, 1 dwg, 2 ex

• Власов Олег Анатольевич
• Казанцев Яков Викторович
• Подшибякина Елена Юрьевна

• РИНЦ (eLIBRARY.RU)