Сибирский федеральный университет

Перевод названия: Capacitor structures based on porous silicon with introduced barium-strontium titanates

Тип публикации: статья из журнала

Год издания: 2019

Идентификатор DOI: 10.31044/1684-5811-2019-20-9-386-392

Ключевые слова: пористые структуры на кремнии, электрохимическая обработка, сегнетоэлектрик, экстракционно-пиролитический метод, гетероструктуры на пористом кремнии с титанатом бария-стронция, silicon based porous structure, electrochemical treatment, ferroelectric, extraction-pyrolysis method, porous silicon based heterostructure, barium-strontium titanate

Аннотация: Рассмотрена возможность создания конденсаторных структур на основе пористого кремния с внедренными в поры оксидными сегнетоэлектриками - титанатами бария-стронция, которые имеют размытый фазовый переход. При этом тонкие пленки титаната бария-стронция охарактеризованы как наноструктуры, обладающие сегнетоэлектрическими свойствами. Для получения таких структур использован экстракционно-пиролитический метод. Изучены зависимости емкости и диэлектрической проницаемости полученных структур от соотношения компонентов бария и стронция в титанатах бария-стронция. Результаты работы подтверждают возможность использования представленных технологий - получения матриц пористого кремния и экстракционно-пиролитического метода получения сегнетоэлектрика на основе титанатов бария и стронция - для создания структур емкостного типа с различными диэлектрическими характеристиками благодаря возможности варьирования получаемого состава сегнетоэлектрика, размерности, морфологии матрицы пористого кремния. The production possibility of capacitor structures based on porous silicon with oxide ferroelectrics (barium-strontium titanates) introduced in pores, which have a smeared phase transition, has been examined. Thin films of barium-strontium titanates were characterized as nanostructures possessing ferroelectric properties. To produce such structures the extraction- pyrolysis method was used. The dependences of capacity and dielectric permeability of the structures on a ratio of barium and strontium in barium-strontium titanates were studied. The study results proved that the technologies could be used to manufacture of capacitor type structures with different dielectric characteristics due to the variation possibility the ferroelectric composition, dimensions, matrix morphology of porous silicon.

Журнал: Химическая технология

Выпуск журнала: № 9

Номера страниц: 386-392

ISSN журнала: 16845811

Место издания: Москва

Издатель: Общество с ограниченной ответственностью "Наука и технологии"

• Семенова О.В. (Сибирский федеральный университет)
• Патрушева Т.Н. (Балтийский технический университет «ВОЕНМЕХ» им. Д. Ф. Устинова)
• Подорожняк С.А. (Сибирский федеральный университет)
• Юзова В.А. (Сибирский федеральный университет)
• Корец А.Я. (Сибирский федеральный университет)
• Холькин А.И. (Институт общей и неорганической химии им. Н. С. Курнакова РАН)
• Раилко М.Ю. (Сибирский федеральный университет)

• Ядро РИНЦ (eLIBRARY.RU)
• Список ВАК