ИССЛЕДОВАНИЕ ЭЛЕКТРИЧЕСКОГО НАГРЕВАТЕЛЯ ПОДЛОЖЕК ДЛЯ ВАКУУМНЫХ КАМЕР : научное издание | Научно-инновационный портал СФУ

ИССЛЕДОВАНИЕ ЭЛЕКТРИЧЕСКОГО НАГРЕВАТЕЛЯ ПОДЛОЖЕК ДЛЯ ВАКУУМНЫХ КАМЕР : научное издание

Тип публикации: статья из журнала

Год издания: 2012

Аннотация: Рассматривается электрический нагреватель кремниевых подложек в вакуумной камере, его проблемы и возможные пути решения.

Ссылки на полный текст

Издание

Журнал: Актуальные проблемы авиации и космонавтики

Выпуск журнала: Т. 1, 8

Номера страниц: 167-168

Место издания: Красноярск

Издатель: Сибирский государственный аэрокосмический университет имени академика М.Ф. Решетнева

Авторы

  • Мысягин В.В. (Сибирский государственный аэрокосмический университет имени академика М. Ф. Решетнева)
  • Овчинников С.Г. (Сибирский государственный аэрокосмический университет имени академика М. Ф. Решетнева)

Вхождение в базы данных

Информация о публикациях загружается с сайта службы поддержки публикационной активности СФУ. Сообщите, если заметили неточности.

Вы можете отметить интересные фрагменты текста, которые будут доступны по уникальной ссылке в адресной строке браузера.