Сибирский федеральный университет

Перевод названия: APPLICATION OF COAT ONTO QUARTZ CRUCIBLE INNER SURFACE

Тип публикации: патент

Год издания: 2014

Аннотация: p num="23"Изобретение относится к металлургии полупроводниковых материалов и может быть использовано, например, при выращивании монокристаллов кремния методом Чохральского. Защитное покрытие на внутреннюю поверхность кварцевого тигля наносят путем обработки внутренней поверхности тигля смесью газов H2, CO и H2O при массовом соотношении компонентов, соответственно, 2:28:18 при температуре 1150-1200°C в течение 1 часа, после чего тигель подвергают термообработке при температуре 1150-1200°C в течение 1 часа в атмосфере воздуха до получения плотного покрытия. Изобретение позволяет получать покрытие диоксида кремния толщиной 150-200 мкм, имеющее однородную поверхность без дефектов роста на внутренней поверхности кварцевых тиглей. Кроме того, способ технологичен, прост в аппаратурном оформлении и не требует значительных затрат энергии. 1 ил., 2 пр./p p num="24"FIELD: metallurgy./p p num="25"SUBSTANCE: protective coat is applied on quartz crucible inner surface by its processing with the mix of gases H2, CO and H2O at their ratio of 2:28:18 at 1150-1200°C for 1 hour. Thereafter, said crucible is subjected to heat treatment at 1150-1200°C for an hours unless hard surface results./p p num="26"EFFECT: invention allows production of 150-200 mcm deep silicon dioxide coats, homogeneous surface without growth flaws, better manufacturability, simple equipment, low energy costs./p p num="27"1 dwg, 2 ex/p

• Власов Олег Анатольевич

• РИНЦ (eLIBRARY.RU)