Сибирский федеральный университет

Перевод названия: The sensitivity of dispersion characteristics of acoustic waves in the layered structure "Me/ZnO/Me/diamond" from the thickness of metallic layers

Тип публикации: статья из журнала

Год издания: 2017

Ключевые слова: пьезоэлектрическая многослойная структура, упругая волна, рэлеевская мода, SH-волна, piezoelectric multilayer structure, elastic wave, Rayleigh mode, SH-wave

Аннотация: В настоящей работе было выполнено исследование влияния массовой нагрузки в виде двух металлических слоев (верхний и нижний электрод) на изменение фазовой скорости дисперсионных мод упругой волны в пьезоэлектрической слоистой структуре «Me/ZnO/Me/алмаз». Проанализированы зависимости этого изменения от отношения h × f (частота × толщина пьезоэлектрика) и отношения d/h (толщина металла/толщина пьезоэлектрика). В качестве материала металлических слоев рассматриваются алюминий (Al), молибден (Mo), платина (Pt). In the present work, a study of influence of mass loading of two metal layers (upper and lower electrode) on the changes in the phase velocity of the dispersive modes of elastic wave in a piezoelectric layered structure «Me/ZnO/Me/diamond» has been fulfilled. Dependences of this quantity from the h × f product (frequency×thickness of the piezoelectric) and the d/h ratio (metal thickness/piezoelectric thickness) are analyzed. The materials of the metallic layers are aluminum (Al), molybdenum (Mo), platinum (Pt).

Журнал: Ученые записки физического факультета Московского университета

Выпуск журнала: № 5

Номера страниц: 1750402

ISSN журнала: 23079665

Место издания: Москва

Издатель: Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова"

• Бурков С.И. (Сибирский федеральный университет)
• Золотова О.П. (Сибирский государственный университет науки и технологий имени М. Ф. Решетнева)
• Турчин П.П. (Сибирский федеральный университет)
• Рычков И.М. (Сибирский федеральный университет)

• РИНЦ (eLIBRARY.RU)
• Список ВАК