Сибирский федеральный университет

Тип публикации: статья из журнала

Год издания: 2012

Ключевые слова: микрополосковый датчик, кремний, бесконтактный СВЧ-метод

Аннотация: Разработан микрополосковый СВЧ-датчик, предназначенный для измерения параметров полупроводников бесконтактным СВЧ-методом. Проведено сравнение результатов измерений времени жизни неосновных носителей заряда в монокристаллическом и мультикристаллическом кремнии с применением данного датчика и ранее известной конструкции микрополоскового датчика. Показано преимущество разработанного датчика при измерении времени жизни неосновных носителей заряда в образцах кремния с низким удельным сопротивлением.

Журнал: Известия высших учебных заведений. Физика

Выпуск журнала: Т. 55, № 8-3

Номера страниц: 17-20

ISSN журнала: 00213411

Место издания: Томск

Издатель: Национальный исследовательский Томский государственный университет

• ВЛАДИМИРОВ Валерий Михайлович (Красноярский научный центр СО РАН)
• МАРКОВ Владимир Витальевич (Красноярский научный центр СО РАН)
• ШЕПОВ Владимир Николаевич (Красноярский научный центр СО РАН)

• Ядро РИНЦ (eLIBRARY.RU)
• Список ВАК