Тип публикации: статья из журнала
Год издания: 2018
Идентификатор DOI: 10.1134/S0040579518050238
Ключевые слова: Barium titanate, Ferroelectric materials, Ferroelectricity, Microelectronics, Microsystems, Porosity, Silicon compounds, Capacitor structures, Electrochemical treatments, Engineering elements, Microsystems engineering, Porous matrixs, Porous structures, P
Аннотация: The formation of heterostructures based on porous silicon with barium titanate for application in capacitive electronic and microsystem engineering elements has been experimentally investigated. The dependences of the capacitance and permittivity on the p
Издание
Журнал: Theoretical Foundations of Chemical Engineering
Выпуск журнала: Vol. 52, Is. 5
Номера страниц: 862-867
Персоны
- Semenova O.V. (Siberian Fed Univ, Krasnoyarsk 660041, Russia)
- Railko M.Yu. (Siberian Fed Univ, Krasnoyarsk 660041, Russia)
- Patrusheva T.N. (Balt State Tech Univ Voenmekh, St Petersburg 190005, Russia)
- Merkushev F.F. (Siberian Fed Univ, Krasnoyarsk 660041, Russia)
- Podorozhyak S.A. (Siberian Fed Univ, Krasnoyarsk 660041, Russia)
- Yuzova V.A. (Siberian Fed Univ, Krasnoyarsk 660041, Russia)
- Korets A.Ya. (Siberian Fed Univ, Krasnoyarsk 660041, Russia)
- Khol'kin A.I. (Russian Acad Sci, Kurnakov Inst Gen & Inorgan Chem, Moscow 119991, Russia)
Вхождение в базы данных
Информация о публикациях загружается с сайта службы поддержки публикационной активности СФУ. Сообщите, если заметили неточности.