УПРАВЛЯЕМЫЙ СВЧ-МОДУЛЬ ДЛЯ БЕСКОНТАКТНОГО ИЗМЕРЕНИЯ ВРЕМЕНИ ЖИЗНИ НЕРАВНОВЕСНЫХ НОСИТЕЛЕЙ ЗАРЯДА В ПОЛУПРОВОДНИКАХ : научное издание

Тип публикации: статья из журнала

Год издания: 2011

Аннотация: Кратко описан оригинальный управляемый СВЧ-модуль для бесконтактного измерения параметров полупроводников. Модуль позволяет в автоматическом режиме контролировать изменение частоты, амплитуды, добротности и формы резонансной кривой СВЧ-резонатора при нагружении его на измеряемый полупроводник. Приведены результаты применения СВЧ-модуля для измерений времени жизни неравновесных носителей заряда в пластинах монокристаллического и мультикристаллического кремния.

Ссылки на полный текст

Издание

Журнал: Микроэлектроника

Выпуск журнала: Т. 40, № 4

Номера страниц: 313-318

ISSN журнала: 05441269

Место издания: Москва

Издатель: Российская академия наук, Физико-технологический институт им. К.А. Валиева РАН

Персоны

Владимиров В.М. (Красноярский научный центр СО РАН)
Коннов В.Г. (Красноярский научный центр СО РАН)
Марков В.В. (Красноярский научный центр СО РАН)
Репин Н.С. (Красноярский научный центр СО РАН)
Шепов В.Н. (Красноярский научный центр СО РАН)

Вхождение в базы данных

Ядро РИНЦ (eLIBRARY.RU)
Список ВАК

Информация о публикациях загружается с сайта службы поддержки публикационной активности СФУ. Сообщите, если заметили неточности.