Метрологические аспекты исследования поверхностей

Тип публикации: научное издание

Год издания: 1988

Журнал: Микроэлектронные устройства. Проектирование и технология

Номера страниц: 32-40

Место издания: Красноярск

Издатель: Красноярский государственный политехнический институт

Информация о публикациях загружается с сайта службы поддержки публикационной активности СФУ. Сообщите, если заметили неточности.