Тип публикации: статья из журнала
Год издания: 2012
Идентификатор DOI: 10.1134/S1063784212090241
Аннотация: An algorithm is developed to perform rapid control of the thickness and optical constants of a film structure during growth. This algorithm is tested on Fe/SiO2/Si(100) structures grown in an Angara molecular-beam epitaxy setup. The film thicknesses determined during their growth are compared with X-ray spectral fluorescence analysis and transmission electron microscopy data.
Издание
Журнал: TECHNICAL PHYSICS
Выпуск журнала: Vol. 57, Is. 9
Номера страниц: 1225-1229
ISSN журнала: 10637842
Место издания: NEW YORK
Издатель: MAIK NAUKA/INTERPERIODICA/SPRINGER
Персоны
- Tarasov I.A. (Reshetnev Siberian State Aerospace University)
- Kosyrev N.N. (Reshetnev Siberian State Aerospace University)
- Varnakov S.N. (Reshetnev Siberian State Aerospace University)
- Ovchinnikov S.G. (Kirenskii Institute of Physics, Siberian Branch,Russian Academy of Sciences)
- Zharkov S.M. (Siberian Federal University)
- Bondarenko S.G. (Kirenskii Institute of Physics, Siberian Branch,Russian Academy of Sciences)
- Shvets V.A. (Novosibirsk State University)
- Tereshchenko O.E. (Institute of Semiconductor Physics, Siberian Branch,Russian Academy of Sciences)
Вхождение в базы данных
Информация о публикациях загружается с сайта службы поддержки публикационной активности СФУ. Сообщите, если заметили неточности.