Тип публикации: статья из журнала
Год издания: 2004
Аннотация: Описана автоматизация комплекса технологического оборудования для получения тонких пленок и многослойных структур полупроводниковых и магнитных материалов в сверхвысоком вакууме. Разработаны программно-аппаратные блоки на базе п.э.в.м. для контроля сверхвысоковакуумной системы и автоматического управления испарителями. Комплекс оснащен аналитическим оборудованием для контроля in situ параметров получаемых структур методами дифракции отраженных быстрых электронов, лазерной эллипсометрии и электронной оже-спектроскопии.
Издание
Журнал: Приборы и техника эксперимента
Выпуск журнала: № 6
Номера страниц: 125-129
ISSN журнала: 00328162
Место издания: Москва
Издатель: Федеральное государственное унитарное предприятие Академический научно-издательский, производственно-полиграфический и книгораспространительский центр Наука
Персоны
- Варнаков С.Н. (Институт физики им. Л.В. Киренского СО РАН)
- Лепешев А.А. (Сибирский государственный аэрокосмический университет им. акад. М.Ф. Решетнева)
- Овчинников С.Г. (Институт физики им. Л.В. Киренского СО РАН)
- Паршин А.С. (Сибирский государственный аэрокосмический университет им. акад. М.Ф. Решетнева)
- Коршунов М.М. (Институт физики им. Л.В. Киренского СО РАН)
Вхождение в базы данных
- Ядро РИНЦ (eLIBRARY.RU)
- Список ВАК
Информация о публикациях загружается с сайта службы поддержки публикационной активности СФУ. Сообщите, если заметили неточности.