АВТОМАТИЗАЦИЯ ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО ОБОРУДОВАНИЯ ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ МНОГОСЛОЙНЫХ СТРУКТУР В СВЕРХВЫСОКОМ ВАКУУМЕ : научное издание | Научно-инновационный портал СФУ

АВТОМАТИЗАЦИЯ ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО ОБОРУДОВАНИЯ ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ МНОГОСЛОЙНЫХ СТРУКТУР В СВЕРХВЫСОКОМ ВАКУУМЕ : научное издание

Тип публикации: статья из журнала

Год издания: 2004

Аннотация: Описана автоматизация комплекса технологического оборудования для получения тонких пленок и многослойных структур полупроводниковых и магнитных материалов в сверхвысоком вакууме. Разработаны программно-аппаратные блоки на базе п.э.в.м. для контроля сверхвысоковакуумной системы и автоматического управления испарителями. Комплекс оснащен аналитическим оборудованием для контроля in situ параметров получаемых структур методами дифракции отраженных быстрых электронов, лазерной эллипсометрии и электронной оже-спектроскопии.

Ссылки на полный текст

Издание

Журнал: Приборы и техника эксперимента

Выпуск журнала: 6

Номера страниц: 125-129

ISSN журнала: 00328162

Место издания: Москва

Издатель: Федеральное государственное унитарное предприятие Академический научно-издательский, производственно-полиграфический и книгораспространительский центр Наука

Авторы

  • Варнаков С.Н. (Институт физики им. Л.В. Киренского СО РАН)
  • Лепешев А.А. (Сибирский государственный аэрокосмический университет им. акад. М.Ф. Решетнева)
  • Овчинников С.Г. (Институт физики им. Л.В. Киренского СО РАН)
  • Паршин А.С. (Сибирский государственный аэрокосмический университет им. акад. М.Ф. Решетнева)
  • Коршунов М.М. (Институт физики им. Л.В. Киренского СО РАН)

Вхождение в базы данных

Информация о публикациях загружается с сайта службы поддержки публикационной активности СФУ. Сообщите, если заметили неточности.

Вы можете отметить интересные фрагменты текста, которые будут доступны по уникальной ссылке в адресной строке браузера.