Сибирский федеральный университет

Перевод названия: DESIGN AND RESEARCH OF THE MICROMECHANICAL RESONATOR

Тип публикации: статья из журнала

Год издания: 2013

Ключевые слова: SCREAM-технология, SCREAM technology, Micromechanical resonators, MEMS (microelectromechanical systems), микромеханические резонаторы, МЭМС (микроэлектромеханические системы)

Аннотация: Представлены конструкция и технология изготовления высокодобротных кремниевых резонаторов. Изготовлены экспериментальные образцы микромеханических резонаторов. Проведен анализ режимов работы резонаторов на основе конечно-элементного моделирования. The design and manufacturing techniques of silicon resonators is presented. Experimental samples of micromechanical resonators are made. The analysis of resonators operating modes on the basis of finite element method is carried out.

Журнал: Известия высших учебных заведений. Физика

Выпуск журнала: Т. 56, № 8-3

Номера страниц: 159-161

ISSN журнала: 00213411

Место издания: Томск

Издатель: Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования Национальный исследовательский Томский государственный университет

• Левицкий Алексей Александрович (Сибирский федеральный университет)
• Маринушкин Павел Сергеевич (Сибирский федеральный университет)

• Ядро РИНЦ (eLIBRARY.RU)
• Список ВАК