РАЗРАБОТКА И ИССЛЕДОВАНИЕ МИКРОМЕХАНИЧЕСКОГО РЕЗОНАТОРА

Перевод названия: DESIGN AND RESEARCH OF THE MICROMECHANICAL RESONATOR

Тип публикации: статья из журнала

Год издания: 2013

Ключевые слова: SCREAM-технология, SCREAM technology, Micromechanical resonators, MEMS (microelectromechanical systems), микромеханические резонаторы, МЭМС (микроэлектромеханические системы)

Аннотация: Представлены конструкция и технология изготовления высокодобротных кремниевых резонаторов. Изготовлены экспериментальные образцы микромеханических резонаторов. Проведен анализ режимов работы резонаторов на основе конечно-элементного моделирования.

Ссылки на полный текст

Издание

Журнал: Известия высших учебных заведений. Физика

Выпуск журнала: Т.56, 8-3

Номера страниц: 159-161

ISSN журнала: 00213411

Место издания: Томск

Издатель: Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования Национальный исследовательский Томский государственный университет

Авторы

Вхождение в базы данных

Информация о публикациях загружается с сайта службы поддержки публикационной активности СФУ. Сообщите, если заметили неточности.

Вы можете отметить интересные фрагменты текста, которые будут доступны по уникальной ссылке в адресной строке браузера.