Исследование процесса роста и анализ структуры тонких, наклонно осаждаемых пленок

Тип публикации: статья из журнала

Год издания: 2016

Ключевые слова: наклонное осаждение, моделирование роста пленок, метод Монте-Карло

Аннотация: На основе метода Монте-Карло построена модель роста тонких пленок, получаемых наклонным падением частиц. Проведен анализ морфологии синтезированных в результате моделирования структур. Для изучения характера распределения микроструктурных элементов (столбцов) в плоскости пленки использовались автокорреляционная функция микроструктуры и быстрое преобразование Фурье. Показано, что с увеличением угла падения частиц плотность пленки монотонно падает, при этом возникает и монотонно растет анизотропия формы поперечного сечения столбцов, а также растет анизотропия в распределении столбцов по плоскости подложки.

Ссылки на полный текст

Издание

Журнал: Известия высших учебных заведений. Физика

Выпуск журнала: Т.59, 2

Номера страниц: 120-125

ISSN журнала: 00213411

Место издания: Томск

Издатель: Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования Национальный исследовательский Томский государственный университет

Авторы

Вхождение в базы данных

Информация о публикациях загружается с сайта службы поддержки публикационной активности СФУ. Сообщите, если заметили неточности.

Вы можете отметить интересные фрагменты текста, которые будут доступны по уникальной ссылке в адресной строке браузера.