ИССЛЕДОВАНИЯ МНОГОЧАСТОТНЫХ СВЧ АКУСТИЧЕСКИХ РЕЗОНАТОРОВ НА ОСНОВЕ СЛОИСТОЙ ПЬЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСКОЙ СТРУКТУРЫ "Me1/AlN/Me2/(100) АЛМАЗ" | Научно-инновационный портал СФУ

ИССЛЕДОВАНИЯ МНОГОЧАСТОТНЫХ СВЧ АКУСТИЧЕСКИХ РЕЗОНАТОРОВ НА ОСНОВЕ СЛОИСТОЙ ПЬЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСКОЙ СТРУКТУРЫ "Me1/AlN/Me2/(100) АЛМАЗ"

Тип публикации: статья из журнала

Год издания: 2015

Идентификатор DOI: 10.7868/S0320791915030168

Аннотация: Выполнен теоретический анализ структуры “Ме1/AlN/Ме1/(100) алмаз”, экспериментальные исследования проводились в области 0.5?10 ГГц на многочастотных акустических резонаторах с различной топологией электродов, изготовленных на основе структуры “Al/AlN/Mo/(100) алмаз”. Получено максимальное значение параметра качества Q ? f img src="/ItemImages/1400782/23661993/FO_2_1.gif" align=absmiddle border=0 1014 Гц при f = 9.5 ГГц. Для анализа слоистой структуры была разработана программа “HBAR, ver. 2.3”. Показано, что особенности в частотных зависимостях параметров таких резонаторов связаны с поведением нагруженного тонкопленочного преобразователя. Результаты расчета находятся в близком согласии с экспериментально наблюдаемыми. Рассчитаны частотные зависимости эквивалентных параметров резонаторов. Показано, что синтетический монокристалл алмаза IIa типа в сочетании с нитридом алюминия является перспективным для реализации высокодобротных акустоэлектронных СВЧ-устройств.

Ссылки на полный текст

Издание

Журнал: Акустический журнал

Выпуск журнала: Т. 61, 4

Номера страниц: 464

ISSN журнала: 03207919

Место издания: Москва

Издатель: Федеральное государственное унитарное предприятие "Академический научно-издательский, производственно-полиграфический и книгораспространительский центр Российской академии наук "Издательство "Наука"

Авторы

  • Сорокин Б.П. (Технологический институт сверхтвердых и новых углеродных материалов (ТИСНУМ), Москва, Троицк)
  • Квашнин Г.М. (Технологический институт сверхтвердых и новых углеродных материалов (ТИСНУМ), Москва, Троицк)
  • Теличко А.В. (Технологический институт сверхтвердых и новых углеродных материалов (ТИСНУМ), Москва, Троицк)
  • Гордеев Г.И. (Технологический институт сверхтвердых и новых углеродных материалов (ТИСНУМ), Москва, Троицк)
  • Бурков С.И. (Сибирский федеральный университет, Красноярск)
  • Бланк В.Д. (Технологический институт сверхтвердых и новых углеродных материалов (ТИСНУМ), Москва, Троицк)

Вхождение в базы данных

Информация о публикациях загружается с сайта службы поддержки публикационной активности СФУ. Сообщите, если заметили неточности.

Вы можете отметить интересные фрагменты текста, которые будут доступны по уникальной ссылке в адресной строке браузера.