Спектроскопия сечения неупругого рассеяния электронов наногетероструктур GexSi1-x

Тип публикации: статья из журнала

Год издания: 2014

Аннотация: Двухкомпонентные структуры GexSi1-x (0=q x=q1) исследованы методами электронной спектроскопии. Атомный состав структур определен из спектров рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии. Спектры потерь энергии отраженных электронов получены для серии образцов с разными значениями x при энергии первичных электронов в интервале от 200 до 3000 эВ. Из этих экспериментальных спектров вычислены зависимости произведения средней длины неупругого пробега и дифференциального сечения неупругого рассеяния электронов от потерь энергии электронов. Показано, что количественные характеристики этих зависимостей могут быть использованы для определения атомных концентраций элементов данной системы.

Ссылки на полный текст

Издание

Журнал: Физика и техника полупроводников

Выпуск журнала: Т.48, 2

Номера страниц: 237-241

ISSN журнала: 00153222

Место издания: Санкт-Петербург

Издатель: Федеральное государственное унитарное предприятие Академический научно-издательский, производственно-полиграфический и книгораспространительский центр Наука

Авторы

  • Паршин A.C. (Сибирский государственный аэрокосмический университет им. академика М.Ф. Решетнева, 660014 Красноярск, Россия)
  • Пьяновская Е.П. (Сибирский государственный аэрокосмический университет им. академика М.Ф. Решетнева, 660014 Красноярск, Россия)
  • Пчеляков О.П. (Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук, 630090 Новосибирск, Россия)
  • Михлин Ю.Л. (Институт химии и химической технологии Сибирского отделения Российской академии наук, 660036 Красноярск, Россия)
  • Никифоров А.И. (Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук, 630090 Новосибирск, Россия)
  • Тимофеев B.A. (Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук, 630090 Новосибирск, Россия)
  • Есин М.Ю. (Сибирский государственный аэрокосмический университет им. академика М.Ф. Решетнева, 660014 Красноярск, Россия)

Вхождение в базы данных

Информация о публикациях загружается с сайта службы поддержки публикационной активности СФУ. Сообщите, если заметили неточности.

Вы можете отметить интересные фрагменты текста, которые будут доступны по уникальной ссылке в адресной строке браузера.