Сибирский федеральный университет

Перевод названия: FOR QUESTIONS ABOUT THE SAFETY OF WORK AT THE MICROELECTRONICS ENTERPRISE

Тип публикации: статья из журнала

Год издания: 2016

Ключевые слова: производство электронных продуктов, методы получения пленок, выбросы химических веществ, нанотехнологии в растворах, системы для выведения и утилизации газов, production of electronic products, methods for producing films, release of chemicals, nanotechnology solutions, systems for removal and disposal of gases

Аннотация: Изготовление микроэлектронных приборов относится к высокотехнологичным производствам, основанным на получении тонких пленок металлов, диэлектриков и полупроводников. В статье рассмотрены методы получения тонких пленок, необходимых для изготовления приборов микроэлектроники. С точки зрения экологической безопасности значительный вред здоровью персонала и окружающей среде наносят химические реактивы, используемые в процессах роста пленок, особенно галогенсодержащие вещества, а также газообразные реактивы. Использование сложного вакуумного оборудования требует повышенного внимания и высокой квалификации персонала предприятий. Развитие микро- и наноэлектроники и расширение круга новых функциональных материалов, в частности сложнооксидных, диктует необходимость перехода на новые технологии. Нанотехнологии диктуют новые технологические подходы, в частности развитие растворных методов изготовления тонких пленок, для которых необходимо разработать комплексные системы безопасности. The production of microelectronic devices related to high-tech industries based on the thin films of metals, dielectrics and semiconductors obtaining. The article describes methods of thin films producing required for the manufacture of microelectronic devices. In terms of environmental safety the significant harm to the health of personnel and the environment cause the chemical reagents used in the film growth process, especially halogenated substances and gaseous reactants. Usage of sophisticated vacuum equipment requires special attention of highly qualified personnel of enterprises. The development of micro- and nanoelectronics and the expanding of the range of new functional materials, in particular composite oxides, calls for the transition to new technologies. Nanotechnology dictate a new technological approaches, in particular the development of wet manufacturing techniques of thin films, for which it is necessary to develop a comprehensive security systems.

Журнал: Международный журнал прикладных и фундаментальных исследований

Выпуск журнала: № 4-4

Номера страниц: 675-679

ISSN журнала: 19963955

Место издания: Пенза

Издатель: Общество с ограниченной ответственностью "Издательский Дом "Академия Естествознания"

• Патрушева Т.Н. (Сибирский федеральный университет)
• Барашков В.А. (Сибирский федеральный университет)
• Чурбакова О.В. (Сибирский федеральный университет)
• Петров С.К. (Балтийский технический университет им. Д.Ф. Устинова)
• Подорожняк С.А. (Сибирский федеральный университет)
• Белоусов А.Л. (Сибирский федеральный университет)
• Федяев В.А. (Сибирский федеральный университет)

• РИНЦ (eLIBRARY.RU)