К ВОПРОСУ О БЕЗОПАСНОСТИ РАБОТЫ НА ПРЕДПРИЯТИЯХ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ

Перевод названия: FOR QUESTIONS ABOUT THE SAFETY OF WORK AT THE MICROELECTRONICS ENTERPRISE

Тип публикации: статья из журнала

Год издания: 2016

Ключевые слова: производство электронных продуктов, методы получения пленок, выбросы химических веществ, нанотехнологии в растворах, системы для выведения и утилизации газов, production of electronic products, methods for producing films, release of chemicals, nanotechnology solutions, systems for removal and disposal of gases

Аннотация: Изготовление микроэлектронных приборов относится к высокотехнологичным производствам, основанным на получении тонких пленок металлов, диэлектриков и полупроводников. В статье рассмотрены методы получения тонких пленок, необходимых для изготовления приборов микроэлектроники. С точки зрения экологической безопасности значительный вред здоровью персонала и окружающей среде наносят химические реактивы, используемые в процессах роста пленок, особенно галогенсодержащие вещества, а также газообразные реактивы. Использование сложного вакуумного оборудования требует повышенного внимания и высокой квалификации персонала предприятий. Развитие микро- и наноэлектроники и расширение круга новых функциональных материалов, в частности сложнооксидных, диктует необходимость перехода на новые технологии. Нанотехнологии диктуют новые технологические подходы, в частности развитие растворных методов изготовления тонких пленок, для которых необходимо разработать комплексные системы безопасности.

Ссылки на полный текст

Издание

Журнал: Международный журнал прикладных и фундаментальных исследований

Выпуск журнала: 4-4

Номера страниц: 675-679

ISSN журнала: 19963955

Место издания: Пенза

Издатель: Общество с ограниченной ответственностью "Издательский Дом "Академия Естествознания"

Авторы

  • Патрушева Т.Н. (Сибирский федеральный университет)
  • Барашков В.А. (Сибирский федеральный университет)
  • Чурбакова О.В. (Сибирский федеральный университет)
  • Петров С.К. (Балтийский технический университет им. Д.Ф. Устинова)
  • Подорожняк С.А. (Сибирский федеральный университет)
  • Белоусов А.Л. (Сибирский федеральный университет)
  • Федяев В.А. (Сибирский федеральный университет)

Вхождение в базы данных

Информация о публикациях загружается с сайта службы поддержки публикационной активности СФУ. Сообщите, если заметили неточности.

Вы можете отметить интересные фрагменты текста, которые будут доступны по уникальной ссылке в адресной строке браузера.