Сибирский федеральный университет

Тип публикации: статья из журнала

Год издания: 2008

Аннотация: Рассмотрены существующие подходы к компьютерному моделированию компонентов микроэлектромеханических систем (МЭМС) и соответствующие виды программных средств анализа. Приведены примеры численных моделей микроустройств с помощью пакетов ANSYS и Comsol Multiphysics. Применение предлагаемых моделей позволяет проводить мультифизичный (междисциплинарный) анализ компонентов МЭМС с учетом факторов, оказывающих существенно влияние на работу микроустройств.

Журнал: Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем (МЭС)

Выпуск журнала: № 1

Номера страниц: 398-401

ISSN журнала: 20787707

Место издания: Москва

Издатель: Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт проблем проектирования в микроэлектронике Российской академии наук

• Коловский Ю.В. (Сибирский федеральный университет)
• Левицкий А.А. (Сибирский федеральный университет)
• Маринушкин П.С. (Сибирский федеральный университет)

• РИНЦ (eLIBRARY.RU)
• Список ВАК