ПРОВОЛОЧНЫЙ ЭЛЕКТРОД-ИНСТРУМЕНТ ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ КРИСТАЛЛОВ

Перевод названия: WIRE TOOL - ELECTRODE TO OBTAIN CRYSTALS

Тип публикации: статья из журнала

Год издания: 2015

Ключевые слова: проволочный электрод-инструмент, колебания проволоки, скрайбирование полупроводниковых пластин, the wire electrode-tool, the vibrations of the wire, scribing semiconductor wafers

Аннотация: В системах управления ракет и космических аппаратов применяют интегральные микросхемы и приборы, в основе которых используются кристаллы, полученные разделением полупроводниковых пластин. Предложен способ разделения на кристаллы проволочным электрод-инструментом. Правильность выбранной модели подтверждается экспериментальными данными.

Ссылки на полный текст

Издание

Журнал: Решетневские чтения

Выпуск журнала: Т.1, 19

Номера страниц: 43-46

ISSN журнала: 19907702

Место издания: Красноярск

Издатель: Сибирский государственный аэрокосмический университет имени академика М.Ф. Решетнева

Авторы

  • Семенова Л.А. (Сибирский государственный аэрокосмический университет имени академика М. Ф. Решетнева)
  • Шестаков И.Я. (Сибирский государственный аэрокосмический университет имени академика М. Ф. Решетнева)

Вхождение в базы данных

Информация о публикациях загружается с сайта службы поддержки публикационной активности СФУ. Сообщите, если заметили неточности.

Вы можете отметить интересные фрагменты текста, которые будут доступны по уникальной ссылке в адресной строке браузера.