Сибирский федеральный университет

Перевод названия: WIRE TOOL - ELECTRODE TO OBTAIN CRYSTALS

Тип публикации: статья из журнала

Год издания: 2015

Ключевые слова: проволочный электрод-инструмент, колебания проволоки, скрайбирование полупроводниковых пластин, the wire electrode-tool, the vibrations of the wire, scribing semiconductor wafers

Аннотация: В системах управления ракет и космических аппаратов применяют интегральные микросхемы и приборы, в основе которых используются кристаллы, полученные разделением полупроводниковых пластин. Предложен способ разделения на кристаллы проволочным электрод-инструментом. Правильность выбранной модели подтверждается экспериментальными данными. The control systems of missiles and space vehicles use integrated circuits and devices with crystals obtained by separating the semiconductor wafers. The research presents a method of separation of crystals wire electrode-tool. The correctness of the chosen model is confirmed by experimental data.

Журнал: Решетневские чтения

Выпуск журнала: Т. 1, № 19

Номера страниц: 43-46

ISSN журнала: 19907702

Место издания: Красноярск

Издатель: Сибирский государственный аэрокосмический университет имени академика М.Ф. Решетнева

• Семенова Л.А. (Сибирский государственный аэрокосмический университет имени академика М. Ф. Решетнева)
• Шестаков И.Я. (Сибирский государственный аэрокосмический университет имени академика М. Ф. Решетнева)

• РИНЦ (eLIBRARY.RU)