Тип публикации: статья из журнала
Год издания: 2017
Идентификатор DOI: 10.1016/j.molstruc.2017.06.059
Ключевые слова: Iridium films, MOCVD, Ir(acac)(CO)(2), Thermal decomposition, Mass spectrometry, Quantum chemical modeling
Аннотация: The mechanism of thermal destruction of Ir(acac)(CO)(2) as one of the most important MOCVD precursors for Ir coatings deposition was proposed on the footing of the in situ mass spectrometry analysis and quantum chemical modeling. Calculated structural par
Издание
Журнал: JOURNAL OF MOLECULAR STRUCTURE
Выпуск журнала: Vol. 1146
Номера страниц: 677-683
ISSN журнала: 00222860
Место издания: AMSTERDAM
Издатель: ELSEVIER SCIENCE BV
Персоны
- Kovaleva Evgenia A. (Siberian Fed Univ, 79 Svobodny Pr, Krasnoyarsk 660041, Russia; SB RAS, Nikolaev Inst Inorgan Chem, 3 Acad Lavrentieva Pr, Novosibirsk 630090, Russia)
- Kuzubov Alexander A. (Siberian Fed Univ, 79 Svobodny Pr, Krasnoyarsk 660041, Russia)
- Vikulova Evgeniia S. (SB RAS, Nikolaev Inst Inorgan Chem, 3 Acad Lavrentieva Pr, Novosibirsk 630090, Russia)
- Basova Tamara V. (SB RAS, Nikolaev Inst Inorgan Chem, 3 Acad Lavrentieva Pr, Novosibirsk 630090, Russia; Novosibirsk State Univ, 2 Pirogova Str, Novosibirsk 630090, Russia)
- Morozova Natalya B. (SB RAS, Nikolaev Inst Inorgan Chem, 3 Acad Lavrentieva Pr, Novosibirsk 630090, Russia)
Вхождение в базы данных
Информация о публикациях загружается с сайта службы поддержки публикационной активности СФУ. Сообщите, если заметили неточности.