Сибирский федеральный университет

Перевод названия: THE SIZING OF DIAMETER MONITORING SIGNAL CORRECTION ON CRYSTAL MENISCUS BUMP HEIGHT CHANGE AT CONTACT MONITORING METHOD OF MONOCRYSTAL GROWTH BY CZOCHRALSKI METHOD

Тип публикации: статья из журнала

Год издания: 2005

Аннотация: Разработанный авторами контактный метод управления диаметром вытягиваемого монокристаллического слитка из расплава по способу Чохральского позволяет определить величину коррекции сигнала управления по диаметру в зависимости от изменения высоты столбика мениска кристалла при выращивании конусной части кристалла. In the contact monitoring method of diameter of monocrystalline ingot pulled from melt by Czochralsky method developed by the authors, sizing of diameter monitoring signal correction on crystal meniscus bump height change when growing conical part of crystal is important.

Журнал: Вестник Сибирского государственного аэрокосмического университета им. академика М.Ф. Решетнева

Выпуск журнала: № 4

Номера страниц: 89-90

ISSN журнала: 18169724

Место издания: Красноярск

Издатель: Сибирский государственный аэрокосмический университет имени академика М.Ф. Решетнева

• Саханский С.П. (Сибирский государственный аэрокосмический университет имени академик М. Ф. Решетнева)
• Лаптенок В.Д. (Сибирский государственный аэрокосмический университет имени академика М. Ф. Решетнева)

• РИНЦ (eLIBRARY.RU)