ИНТЕГРАЛЬНЫЙ МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЙ ГИРОСКОП

Перевод названия: INTEGRATED MICROMECHANICAL GYROSCOPE

Тип публикации: патент

Год издания: 2010

Аннотация:

Изобретение относится к области микросистемной техники, в частности к приборам для измерения величины угловой скорости. Гироскоп содержит подложку и инерционную массу, расположенные с зазором относительно друг друга, два гребенчатых электрода электростатических приводов, а также три пары электродов, образующих туннельные контакты, используемые в качестве преобразователей перемещений, при этом один электрод каждой пары расположен на инерционной массе, а другой - на подложке, и четыре вспомогательных электрода, расположенных на подложке с возможностью электростатического взаимодействия с инерционной массой. Изобретение позволяет измерять величины угловой скорости вокруг оси Y, расположенной в плоскости подложки, и вокруг оси Z, направленной перпендикулярно плоскости подложки интегрального микромеханического гироскопа, а также повысить точность измерения угловой скорости. 3 ил.

Ссылки на полный текст

Вхождение в базы данных

Информация о публикациях загружается с сайта службы поддержки публикационной активности СФУ. Сообщите, если заметили неточности.

Вы можете отметить интересные фрагменты текста, которые будут доступны по уникальной ссылке в адресной строке браузера.