СПЕКТРОСКОПИЯ СЕЧЕНИЯ НЕУПРУГОГО РАССЕЯНИЯ ЭЛЕКТРОНОВ В СЛОИСТЫХ СИСТЕМАХ SiO2/Si(100)

Перевод названия: Spectroscopy of the Cross Section of Inelastic Scattering of Electrons in SiO2/Si(100) Layered Systems

Тип публикации: статья из журнала

Год издания: 2012

Ключевые слова: electron spectroscopy, cross section of inelastic scattering of electrons, mean free path of electrons, электронная спектроскопия, сечение неупругого рассеяния электронов, длина свободного пробега электрона

Аннотация: Для слоистых структур SiO2/Si(100) из экспериментальных спектров потерь энергии отражённых электронов при разных энергиях первичных электронов получены спектры сечения неупругого рассеяния электронов - произведение средней длины неупругого рассеяния и его дифференциального сечения. Проведено компьютерное моделирование спектров сечения неупругого рассеяния отражённых электронов для слоистых структур с использованием диэлектрической функции материалов плёнки и подложки. Установлено, что толщина слоя SiO2, определённая при сравнении экспериментальных и модельных спектров, согласуется с результатами эллипсометрических измерений.

Ссылки на полный текст

Издание

Журнал: Автометрия

Выпуск журнала: Т.48, 4

Номера страниц: 88-92

ISSN журнала: 03207102

Место издания: Новосибирск

Издатель: Федеральное государственное унитарное предприятие Издательство Сибирского отделения Российской академии наук

Авторы

  • Паршин Анатолий Сергеевич (Сибирский государственный аэрокосмический университет им. академика М. Ф. Решетнева)
  • Кущенков Станислав Александрович (Сибирский государственный аэрокосмический университет им. академика М. Ф. Решетнева)
  • Пчеляков Олег Петрович (Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова СО РАН)
  • Михлин Юрий Леонидович (Институт химии и химической технологии СО РАН)
  • Хасанов Хасанов Тохир (Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова СО РАН)

Вхождение в базы данных

Информация о публикациях загружается с сайта службы поддержки публикационной активности СФУ. Сообщите, если заметили неточности.

Вы можете отметить интересные фрагменты текста, которые будут доступны по уникальной ссылке в адресной строке браузера.