Разработка пористых структур на кремнии

Перевод названия: Development of Porous Structures on Silicon

Тип публикации: статья из журнала

Год издания: 2010

Ключевые слова: магнитные структуры, microsystem engineering, porous silicon, porous structures on silicon, пористый кремний, пористые структуры на кремнии

Аннотация: В данной работе приводится обзор экспериментальных исследований кремниевых пористых структур, полученных методом электрохимического анодирования монокристаллического кремния в растворе плавиковой кислоты. Изложены результаты оптических и магнитных исследований кремниевых пористых структур. Определены условия создания воспроизводимой структуры пористого кремния с равномерно распределенными цилиндрическими порами и стабильными временными характеристиками за счет использования специальной формы катода и электромагнитного излучения в видимой области спектра. Показана возможность создания фотонных структур, аналогичных структурам Брегговского отражателя и Фабри-Перо.

Ссылки на полный текст

Издание

Журнал: Журнал Сибирского федерального университета. Серия: Техника и технологии

Выпуск журнала: Т.3, 4

Номера страниц: 430-443

ISSN журнала: 1999494X

Место издания: Красноярск

Издатель: Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования Сибирский федеральный университет

Авторы

  • Сакун Е.А. (Сибирский федеральный университет)
  • Полюшкевич А.В. (Сибирский федеральный университет)
  • Харлашин П.А. (Сибирский федеральный университет)
  • Семенова О.В. (Сибирский федеральный университет)
  • Корец А.Я. (Сибирский федеральный университет)

Вхождение в базы данных

Информация о публикациях загружается с сайта службы поддержки публикационной активности СФУ. Сообщите, если заметили неточности.

Вы можете отметить интересные фрагменты текста, которые будут доступны по уникальной ссылке в адресной строке браузера.