Исследование влияния оптического излучения видимого диапазона на процесс формирования пористой структуры на кремнии : доклад, тезисы доклада

Тип публикации: доклад, тезисы доклада, статья из сборника материалов конференций

Конференция: СОВРЕМЕННЫЕ ПРОБЛЕМЫ РАДИОЭЛЕКТРОНИКИ; Красноярск; Красноярск

Год издания: 2012

Аннотация: Представлены результаты экспериментальных исследований процесса электрохимической обработки монокристаллического кремния. Изучено влияние оптического излучения видимого диапазона на процесс формирования пористых структур на кремнии. Проведенный анализ экспериментальных данных подтвердил гипотезу о влиянии длины волны оптического излучения видимого диапазона на процесс формирования и морфологию пористых структур на кремнии. Оптические свойства пористого кремния в процессе его получения дают основание полагать, что излучение различных диапазонов спектра может быть использовано для управления процессом формирования пористой структуры.

Ссылки на полный текст

Издание

Журнал: Современные проблемы радиоэлектроники

Номера страниц: 505-509

Издатель: Сибирский федеральный университет

Авторы

  • Меркушев Ф.Ф. (Сибирский федеральный университет)
  • Раилко М.Ю. (Сибирский федеральный университет)
  • Семенова Ольга Васильевна (Сибирский федеральный университет)
  • Корец Анатолий Яковлевич (Сибирский федеральный университет)
  • Сибирский федеральный университет, Институт инженерной физики и радиоэлектроники; научный редактор Г.Я. Шайдуров

Вхождение в базы данных

Информация о публикациях загружается с сайта службы поддержки публикационной активности СФУ. Сообщите, если заметили неточности.

Вы можете отметить интересные фрагменты текста, которые будут доступны по уникальной ссылке в адресной строке браузера.