Сенсорика. Современные технологии микро- и наноэлектроники | Научно-инновационный портал СФУ

Сенсорика. Современные технологии микро- и наноэлектроники

Перевод названия: Sensorics. Modern technologies of micro and nano-electronics

Тип публикации: учебно-методический материал

Год издания: 2014

Ключевые слова: Chemical and electrochemical gas sensors, micro-electronic sensors, multisensory systems, micro engineering, technology, nanosized sensors, химические, электрохимические газовые сенсоры, микроэлектронные датчики, мультисенсорные системы, микроконструирование, технологии, наноразмерные сенсоры

Аннотация: В учебном пособии раскрывается технологический аспект сенсорики и приводятся сведения о большом многообразии сенсоров. Отмечается важность нанотехнологического подхода к изготовлению сенсоров. Представлена информация о материалах химических сенсоров, их свойствах и принципах конструирования. Особо выделен технологический акцент получения сложнооксидных сенсоров, которые работают на различных принципах. Приведены примеры приборов, выпускаемых в настоящее время в промышленном масштабе. Описаны некоторые технологии изготовления эффективных наноразмерных сенсорных материалов, в том числе авторский метод приготовления оксидных (резистивных, пьезоэлектрических, магнитных) сенсорных материалов. Приведены данные, полученные автором по технологии изготовления сенсорных материалов. Предназначено для студентов и аспирантов, изучающих курс «Современные технологии микро- и наноэлектроники», а также инженеров, специалистов и ученых, работающих в области технологии сенсоров. The training manual reveals the technological aspect of sensory and Examples are found information on a large variety of sensors. Notes the importance of nano-Technological approach to sensor fabrication. The information Materials chemical sensors, their properties and principles of design. Highlight the technological focus of obtaining complex sensors that operate on different principles. Are examples of devices, you are a Issued currently commercially. Describes some effective manufacturing techniques nanoscale sensor materials, including the author?s method of preparation of oxide (resistive, piezoelectric tric and magnetic) sensor materials. The data obtained author on the technology of sensor materials. It is intended for undergraduate and graduate students studying the course "Modern micro- and nano-electronics technology, "as well as engineers, technicians and scientists working in the field of sensor technology.

Ссылки на полный текст

Издание

Место издания: Москва

Издатель: Общество с ограниченной ответственностью «Научно-издательский центр ИНФРА-М»

Авторы

Вхождение в базы данных

Информация о публикациях загружается с сайта службы поддержки публикационной активности СФУ. Сообщите, если заметили неточности.

Вы можете отметить интересные фрагменты текста, которые будут доступны по уникальной ссылке в адресной строке браузера.