Сенсорика. Современные технологии микро- и наноэлектроники

Перевод названия: Sensorics. Modern technologies of micro and nano-electronics

Тип публикации: учебно-методический материал

Год издания: 2014

Ключевые слова: Chemical and electrochemical gas sensors, micro-electronic sensors, multisensory systems, micro engineering, technology, nanosized sensors, химические, электрохимические газовые сенсоры, микроэлектронные датчики, мультисенсорные системы, микроконструирование, технологии, наноразмерные сенсоры

Аннотация: В учебном пособии раскрывается технологический аспект сенсорики и приводятся сведения о большом многообразии сенсоров. Отмечается важность нанотехнологического подхода к изготовлению сенсоров. Представлена информация о материалах химических сенсоров, их свойствах и принципах конструирования. Особо выделен технологический акцент получения сложнооксидных сенсоров, которые работают на различных принципах. Приведены примеры приборов, выпускаемых в настоящее время в промышленном масштабе. Описаны некоторые технологии изготовления эффективных наноразмерных сенсорных материалов, в том числе авторский метод приготовления оксидных (резистивных, пьезоэлектрических, магнитных) сенсорных материалов. Приведены данные, полученные автором по технологии изготовления сенсорных материалов. Предназначено для студентов и аспирантов, изучающих курс «Современные технологии микро- и наноэлектроники», а также инженеров, специалистов и ученых, работающих в области технологии сенсоров.

Ссылки на полный текст

Издание

Место издания: Москва

Издатель: Общество с ограниченной ответственностью «Научно-издательский центр ИНФРА-М»

Авторы

Вхождение в базы данных

Информация о публикациях загружается с сайта службы поддержки публикационной активности СФУ. Сообщите, если заметили неточности.

Вы можете отметить интересные фрагменты текста, которые будут доступны по уникальной ссылке в адресной строке браузера.