Тип публикации: статья из журнала
Год издания: 2020
Идентификатор DOI: 10.51885/15614212_2020_2_65
Ключевые слова: массоперенос, высокодозная имплантация, локальное давление, фазы внедрения
Аннотация: В работе исследованы продукты реакции, полученные при ионной имплантации азота, кислорода и фосфора в танталовую мишень. Установлено, что ионная имплантация азота в тантал приводит к возникновению фазы внедрения ТаN с ГЦК-структурой; имплантация кислорода - образованию фазы ТаО с плотноупакованной ГЦК-структурой; фосфора - образованию фосфида вольфрама Та 3 Р с тетрагональной структурой после дополнительного отжига при температурах, превышающих 800-900 0 С. Сделана оценка локального давления потока ионов на поверхность мишени, которое приводит к локальному искривлению кристаллической решетки, благодаря которому возможен быстрый массоперенос имплантированных ионов в материале мишени.
Издание
Журнал: Вестник Восточно-Казахстанского государственного технического университета им. Д. Серикбаева
Выпуск журнала: № 2
Номера страниц: 65-69
ISSN журнала: 15614212
Место издания: Усть-Каменогорск
Издатель: Восточно-Казахстанский технический университет им. Д. Серикбаева
Персоны
- Абылкалыкова Р.Б. (Восточно-Казахстанский государственный университет им. С. Аманжолова)
- Квеглис Л.И. (Восточно-Казахстанский государственный университет им. С. Аманжолова)
- Иманжанова К.Т. (Восточно-Казахстанский государственный университет им. С. Аманжолова)
- Нуркенова Б.Д. (Восточно-Казахстанский государственный технический университет им. Д. Серикбаева)
- Жапарова М.С. (Восточно-Казахстанский государственный университет им. С. Аманжолова)
Вхождение в базы данных
Информация о публикациях загружается с сайта службы поддержки публикационной активности СФУ. Сообщите, если заметили неточности.