Сибирский федеральный университет

Тип публикации: статья из журнала

Год издания: 2011

Ключевые слова: контроль полупроводникового материала, электрохимическая обработка полу- проводников, пористый кремний, пористые кремниевые пленки, микроэлектронный химический сен- сор

Аннотация: Рассмотрены вопросы микроскопического контроля структуры пористых кремниевых пленок, отде- ленных от исходных монокристаллических подложек. Показано влияние технологии отделения пленок от подложек на их микроструктуру, целостность и прочность. Приводятся сведения о перспективности использования пористых слоев при изготовлении кремниевых микроэлектронных сенсоров

Журнал: Ползуновский вестник

Выпуск журнала: № 3-1

Номера страниц: 140-143

ISSN журнала: 20728921

Место издания: Барнаул

Издатель: Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Алтайский государственный технический университет им. И.И. Ползунова

• Назарова Е.М. (ФГАОУ ВПО «Сибирский федеральный университет»)
• Юзова В.А. (ФГАОУ ВПО «Сибирский федеральный университет»)
• Гаврилов В.В. (ФГАОУ ВПО «Сибирский федеральный университет»)

• РИНЦ (eLIBRARY.RU)
• Список ВАК