ИНТЕГРАЛЬНЫЙ МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЙ АВТОЭМИССИОННЫЙ АКСЕЛЕРОМЕТР

Перевод названия: INTEGRATED MICROMECHANICAL FIELD EMISSION ACCELERATOR

Тип публикации: патент

Год издания: 2010

Аннотация:

Изобретение относится к области микросистемной техники, в частности к микромеханическим акселерометрам. Акселерометр содержит крестообразный подвес, центральная часть которого закреплена относительно якорной области, и опорную рамку, соединенную с крестообразным подвесом и закрепленную относительно инерционной массы. Вспомогательные подвижные электроды закреплены по углам опорной рамки, подложка и инерционная масса выполнены из диэлектрического материала, подвижные и неподвижные электроды и вспомогательные неподвижные электроды выполнены из металла, а якорная область, крестообразный подвес, опорная рамка и вспомогательные подвижные электроды выполнены из полупроводникового материала единым элементом. Изобретение позволяет расширить диапазон измеряемых ускорений, повысить точность измерения ускорения и улучшить эксплуатационные характеристики конструкции. 4 ил.<img file="00000001.TIF" he="86" wi="116" img-format="tif" img-content="drawing" />

Ссылки на полный текст

Вхождение в базы данных

Информация о публикациях загружается с сайта службы поддержки публикационной активности СФУ. Сообщите, если заметили неточности.

Вы можете отметить интересные фрагменты текста, которые будут доступны по уникальной ссылке в адресной строке браузера.