СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПРОЗРАЧНОЙ ПРОВОДЯЩЕЙ ПЛЕНКИ InSnO | Научно-инновационный портал СФУ

СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПРОЗРАЧНОЙ ПРОВОДЯЩЕЙ ПЛЕНКИ InSnO

Перевод названия: METHOD TO PRODUCE TRANSPARENT CONDUCTING FILM InSnO

Тип публикации: патент

Год издания: 2013

Аннотация: p num="45"Изобретение относится к области тонкопленочных технологий, в частности технологии получения тонких пленок оксида индия-олова (ITO), и может быть использовано при производстве электролюминисцентных дисплеев и мониторов с сенсорным экраном. Осуществляют экстрагирование Sn и In из водных растворов их солей карбоновыми кислотами с получением экстрактов индия и олова. Экстракты In и Sn смешивают в соотношении 9:1, смесь экстрактов наносят на подложку, которую центрифугируют для равномерного растекания экстрактов, подсушивают при 100-130°C в течение 1 минуты и далее подвергают пиролизу на воздухе при 400-500°C до разложения органических фаз и отжигают. Нанесение смеси экстрактов In и Sn, центрифугирование, подсушивание и пиролиз циклируют от 5 до 30 раз в зависимости от требуемой толщины получаемой пленки. Отжиг проводят на воздухе при температуре 450°C в течение 1 часа, или в вакууме при 300°C в течение 3 мин. Обеспечивается повышение чистоты и однородности ITO пленок за счет использования растворов экстрактов индия и олова, а также сохранения концентрации раствора при хранении и улучшения смачиваемости подложки при минимальных затратах. 2 з.п. ф-лы, 5 ил., 1 табл., 1 пр.img src="/get_item_image.asp?id=37515428&img=00000001.TIF" class="img_big"/p p num="46"FIELD: metallurgy./p p num="47"SUBSTANCE: Sn and In are extracted from aqueous solutions of their salts by carbonic acids to produce extracts of indium and stannum. Extracts of In and Sn are mixed at the ratio of 9:1, the mixture of extracts is applied onto the substrate, which is centrifuged for even spreading of extracts, dried at 100-130°C for 1 minute and further exposed to pyrolysis on air at 400-500°C until decomposition of organic phases and burnt. Application of the mixture of In and Sn extracts, centrifuging, drying and pyrolysis are cycled from 5 to 30 times depending on the required thickness of the produced film. Burning is done on air at 450°C for 1 hour, or in vacuum at 300°C for 3 min./p p num="48"EFFECT: increased purity and homogeneity of ITO films due to usage of solutions of indium and stannum extracts, and also preservation of concentration of a solution during storage and improved wettability of a substrate with minimum costs./p p num="49"3 cl, 5 dwg, 1 tbl, 1 ex/p

Ссылки на полный текст

Вхождение в базы данных

Информация о публикациях загружается с сайта службы поддержки публикационной активности СФУ. Сообщите, если заметили неточности.

Вы можете отметить интересные фрагменты текста, которые будут доступны по уникальной ссылке в адресной строке браузера.