Создание трехслойной пористой кремниевой структуры для монолитных микротопливных элементов

Тип публикации: доклад, тезисы доклада, статья из сборника материалов конференций

Конференция: СОВРЕМЕННЫЕ ПРОБЛЕМЫ РАДИОЭЛЕКТРОНИКИ; Красноярск; Красноярск

Год издания: 2012

Аннотация: Описывается технология получения сквозной трехслойной пористой структуры на пластинах монокристаллического кремния толщиной 500 мкм без удаления монокристаллических слоев. Показывается возможность технологической реализации изготовления на ее основе каркаса монолитного мембрано-электродного блока микротопливных элементов.

Ссылки на полный текст

Издание

Журнал: Современные проблемы радиоэлектроники

Номера страниц: 401-404

Издатель: Сибирский федеральный университет

Авторы

  • Ляйком Е.А. (Сибирский федеральный университет)
  • Кожурин А.Н. (Сибирский федеральный университет)
  • Крум А.Е. (Сибирский федеральный университет)
  • Юзова Вера Александровна (Сибирский федеральный университет)

Вхождение в базы данных

Информация о публикациях загружается с сайта службы поддержки публикационной активности СФУ. Сообщите, если заметили неточности.

Вы можете отметить интересные фрагменты текста, которые будут доступны по уникальной ссылке в адресной строке браузера.