Эллипсометрический контроль параметров многослойных наноструктур Fe/Si в процессе роста

Перевод названия: Ellipsometric control of parameters of multilayer Fe/Si nanostructures during growth

Тип публикации: статья из журнала

Год издания: 2018

Идентификатор DOI: 10.26732/2618-7957-2018-4-220-224

Ключевые слова: эллипсометрия, силициды железа, многослойные Fe/Si наноструктуры, ellipsometry, iron silicides, multilayer Fe/Si nanostructures

Аннотация: С использованием метода одноволновой лазерной эллипсометрии in situ проведено исследование процесса формирования многослойной структуры [Si/Fe57/Fe56]3/SiO2/Si(100). Были получены сведения об оптических и структурных свойствах данной структуры. Изменение морфологии поверхности растущих слоев и их оптических характеристик оказываются неидентичными для случаев осаждения железа на поверхность слоя кремния и осаждения кремния на поверхность слоя железа. Полученные профили оптических постоянных свидетельствуют об увеличении толщины переходных слоев, содержащих твердые растворы «железо-кремний» и силициды. Характер изменения оптических постоянных усложняется с каждым последующим слоем железа, осаждаемым на поверхность кремния. Поведение профилей <i>n</i> и <i>k</i>, соответствующих формированию кремниевых слоев, имеет более простой характер по сравнению с поведением подобных профилей железа. Эти профили имеют лишь некоторые особенности на начальных этапах роста и соответствуют формированию аморфных слоев кремния. Полученные данные согласуются с данными просвечивающей электронной микроскопии.

Ссылки на полный текст

Издание

Журнал: Космические аппараты и технологии

Выпуск журнала: Т.2, 4

Номера страниц: 220-224

ISSN журнала: 26187957

Место издания: Железногорск

Издатель: Ассоциация Технологическая платформа Национальная информационная спутниковая система

Авторы

Вхождение в базы данных

Информация о публикациях загружается с сайта службы поддержки публикационной активности СФУ. Сообщите, если заметили неточности.

Вы можете отметить интересные фрагменты текста, которые будут доступны по уникальной ссылке в адресной строке браузера.