Dynamic Modeling of Multimode Resonance Measuring Mode in Atomic-Force Microscopy with Piezoresistive, Self-Actuating Cantilevers

Перевод названия: Динамическое моделирование многомодового резонансного режима измерений в атомно-силовой микроскопии с пьезорезистивными активными кантилеверами

Тип публикации: статья из журнала

Год издания: 2018

Идентификатор DOI: 10.17516/1999-494X-0082

Ключевые слова: Thermomechanical actuation, термомеханический привод, Atomic force microscope (AFM), Nano- and Microelectromechanical Systems (NEMS/ MEMS), nanometrology, self-actuating and self-sensing cantilever, атомно-силовой микроскоп (АСМ), нано- и микроэлектромеханические системы (НЭМС/МЭМС), нанометрология, саморегистрирующий активный кантилевер

Аннотация: The development of fast, qualitative and quantitative material characterization methods is one of the most important current issues in the field of nanosystems metrology. On this evidence it seems to be important to conduct a research on the capabilities of multimode resonance imaging mode in atomic-force microscopy (AFM) that allows broadening AFM capabilities in quality of nanonscale structures metrology and nano-object image quantitative analysis. The subject of this paper is modeling of physical phenomena that arise during the creation of such systems that describes coherent mechanic and electric phenomena in self-sensing and self-actuating cantilevers operating in multi-frequency resonance mode. The outcome of the research is represented by a virtual dynamic AFM model that allows understanding the signal generation process in AFM control and measuring circuits during sample scanning in multi-frequency mode.

Ссылки на полный текст

Издание

Журнал: Журнал Сибирского федерального университета. Серия: Техника и технологии

Выпуск журнала: Т.11, 6

Номера страниц: 645-658

ISSN журнала: 1999494X

Место издания: Красноярск

Издатель: Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования Сибирский федеральный университет

Авторы

  • Marinushkin Pavel S. (Siberian Federal University)
  • Levitskiy Alexey A. (Siberian Federal University)
  • Ivanov Tzvetan (Technische Universitat Ilmena Institut fur Mikro- und Nanoelektronik)
  • Rangelow Ivo W. (Technische Universitat Ilmena Institut fur Mikro- und Nanoelektronik)

Вхождение в базы данных

  • РИНЦ (eLIBRARY.RU)
  • Ядро РИНЦ (eLIBRARY.RU)
  • Список ВАК
  • Web of Science Russian Science Citation Index

Информация о публикациях загружается с сайта службы поддержки публикационной активности СФУ. Сообщите, если заметили неточности.

Вы можете отметить интересные фрагменты текста, которые будут доступны по уникальной ссылке в адресной строке браузера.