РЕЗОНАНСНЫЕ МЭМС-СТРУКТУРЫ НА АКУСТИЧЕСКИХ ВОЛНАХ ЛЭМБА: АНАЛИЗ ЭФФЕКТИВНОСТИ ВАРИАНТОВ РЕАЛИЗАЦИИ

Тип публикации: доклад, тезисы доклада, статья из сборника материалов конференций

Конференция: XXI Всероссийская научно-техническая конференция «Современные проблемы радиоэлектроники»; Красноярск; Красноярск

Год издания: 2018

Аннотация: Рассмотрены вопросы моделирования СВЧ МЭМС-резонаторов, работающих на акустических волнах Лэмба. Выполнены расчеты для определения степени влияния конструктивных параметров и физических свойств пьезоэлектрических материалов (AlN, ZnO) на характеристики акустической волны Лэмба. Получены численные оценки, характеризующие зависимость коэффициента электромеханической связи резонаторов с произвольным соотношением размеров от конфигурации электродных структур.

Ссылки на полный текст

Издание

Журнал: Современные проблемы радиоэлектроники

Номера страниц: 330-334

Издатель: Сибирский федеральный университет

Авторы

Вхождение в базы данных

Информация о публикациях загружается с сайта службы поддержки публикационной активности СФУ. Сообщите, если заметили неточности.

Вы можете отметить интересные фрагменты текста, которые будут доступны по уникальной ссылке в адресной строке браузера.