Сибирский федеральный университет 
Тип публикации: доклад, тезисы доклада, статья из сборника материалов конференций
Конференция: XXI Всероссийская научно-техническая конференция «Современные проблемы радиоэлектроники»; Красноярск; Красноярск
Год издания: 2018
Аннотация: Рассмотрены вопросы моделирования СВЧ МЭМС-резонаторов, работающих на акустических волнах Лэмба. Выполнены расчеты для определения степени влияния конструктивных параметров и физических свойств пьезоэлектрических материалов (AlN, ZnO) на характеристики акустической волны Лэмба. Получены численные оценки, характеризующие зависимость коэффициента электромеханической связи резонаторов с произвольным соотношением размеров от конфигурации электродных структур.
Издание
Журнал: Современные проблемы радиоэлектроники
Номера страниц: 330-334
Издатель: Сибирский федеральный университет
Персоны
- Маринушкин Павел Сергеевич (Сибирский федеральный университет)
- Левицкий Алексей Александрович (Сибирский федеральный университет)
- Барон Ф.А. (Научно-производственное предприятие "Радиосвязь")
- Зеленов Ф.В. (Научно-производственное предприятие "Радиосвязь")
Вхождение в базы данных
Информация о публикациях загружается с сайта службы поддержки публикационной активности СФУ. Сообщите, если заметили неточности.